提高芯片制造业生产良率的关键——超净电子半导体生产环境中的空气污染物监测!

环境空气污染物——影响电子

半导体生产制造良率的“黑手”

电子半导体工业被誉为科技发展的基石，芯片虽小，却是信息产业的“智慧大脑”，也是构筑大国竞争力的核心产品之一。集成电路（芯片）从发明到现在历经60多年，已经渗透到各个领域当中，改变了人类的生活。

集成电路（芯片）产业是一个非常复杂的体系，一般分为设计芯片、制造芯片和终端测试3个板块。在芯片制造生产中，要确保每一块芯片都有品质保障，必须对每一个生产制造环节的品质进行严格把控，让每个环节生产都是高标准、高良率。以复杂的CPU芯片为例，如果每一步的良率都是99%的话，看似问题微乎其微，但这些问题累计起来的最终良率将仅0.088%（0.99700），几乎为零。只有当每步的良率为99.99%的时候（1万颗芯片里面只坏1颗），最终良率才能上升到93.24%（0.9999700）。

在芯片的生产制造环境中，由于需要在纳米级别尺度生产和加工集成电路，对空气环境的洁净度要求非常高，极其微小的悬浮粒子污染就会严重影响产品的质量，即使是仅有10nm的微小粒子（也叫纳米粒子），也会大大降低产品的生产出品良率。

TSI AeroTrak 10 nm洁净室凝聚核粒子计数器(CPC)和0.1 μm粒子计数器——为电子半导体行业生产环境空气质量把关

为了保障电子半导体产品的高良率，需要对生产环境中的空气颗粒物污染进行严密监测。高灵敏度粒子计数器可以提供从纳米粒子到亚微米粒子等完整的环境监测解决方案，满足半导体更小工艺节点的生产要求。TSI AeroTrak 10nm洁净室凝聚核粒子计数器(CPC)和0.1 μm粒子计数器(便携式粒子计数器和远程粒子计数器)是满足半导体行业生产环境关键需求的最佳组合。

独一无二的10nm测量

AeroTrak® 9001不同于其它高流量水基凝聚核粒子计数器，AeroTrak® 9001不使用湍流混合和测量整个样品流，能够最小化颗粒物损失和提高计数精度。不同于酒精或其它非水基凝聚核粒子计数器，AeroTrak® 9001 不会向您的洁净环境引入外部化学物质。

TSI® 是 CPC 技术领域的世界级领先制造商，从 1979 年开始始终为全世界供应商用仪器。全世界的国家和标准实验室都在使用TSI® 生产的世界级分级器和凝聚核粒子计数器，AeroTrak® 9001 型洁净室粒子计数器中采用了相同的技术。

特点与优势

• 10 nm 灵敏度

• 0.1CFM (2.83 L/min) 采样流量

• 低误计率 (< 0.07 颗粒物/ft3 实现了低颗粒物浓度条件下的精确测量快速响应

• 使用超纯水或去离子水作为工作液，无需向洁净室引入酒精和有机化合物等化学物质

• 数据存储: 250 个区域, 999 个位置, 和 10,000 个样品

• USB 接口, USB 存储设备和以太网数据传输

• 使用 TrakPro™ Lite Secure 软件实现外部报告

• 行业音量最高警报

• 简单的点击图标的触摸屏操作

• 能够储存和检索特定菜单和区域配置

• 可使用选配 AeroTrak® 7950 高压扩散器（HPD) 测量高压气体 (CDA, N2, AR)

• 316L 不锈钢机箱

值得信赖的0.1μm测量

AeroTrak® 9110型高灵敏度光学粒子计数器（OPC）检测精度可低至 0.1 μm，它完全遵从 ISO-14644-1 标准，这款仪器适用于洁净室监测、过程监控和过滤器测试应用，能够满足电子半导体洁净室应用的苛刻要求，同时提供4年激光器保修。

特点与优势

• 精确测量 0.1 um 粒子

• 粒径范围为 0.1 μm至 10 μm

• 最多可同时测量八个通道数据

• 流量为1.0 CFM (28.3 L/min)

• 完全符合 ISO 21501-4 要求

• 是测量 1 级和 2 级洁净室的最佳选择

• 符合 ISO-14644-1, EU GMP Annex 1 和 FS209E 的报告

• 通过 TrakPro™ Lite Secure 提供认证报告

• 使用增强的氦氖激光器

• 高度可重复和可靠的测量 / 数据

• 数据存储量：250 个区域，999 个位置和10,000 个样品

• USB 接口、U盘、以太网和脉冲输出

• 业内声量最大的声光警报

• 允许储存和取消指定的菜单和区域配置

• 最高显示三种环境参数

• 不锈钢机箱

• 与 M32-01 Manifold 多点采样完美集成

• 两年产品工艺和材料保修

• 四年激光保修